太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。

将单晶硅棒切成片，一般片厚约0.3毫米。硅片经过抛磨、清洗等工序，制成待加工的原料硅片。加工太阳能电池片，首先要在硅片上掺杂和扩散，一般掺杂物为微量的硼、磷、锑等。扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行。这样就硅片上形成P>N结。

硅片，简单来讲就是用硅制成的片，所以叫硅片，它主要是用在晶体硅光伏电池中，它质量方面的要求是很高的，表面不能有损伤等缺陷，比如弯曲、凹凸或者厚度不均匀等。并且硅在切割过程中，要注意切割方式和方法，尽量减少硅原料的消耗量。

硅片回收，就是对硅片进行回收，以便进行硅的二次利用，从而避免其污染环境，并能够提高硅的利用率。

硅片回收及加工过程，包括了很多步骤，但总的要求是：

(1)能够修正一些物理性能，包括尺寸、形状、平整度等方面；

(2)避免出现表面损伤，消除表面的脏污或者颗粒。