主要特点：

A 采用先进的电流型开关电源技术，减小输出储能元件，

同时提高了抑制打火及重启速度，应用在铝靶镀膜优势更为明显。

B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式，

更能保证镀膜工艺的重复性。

C 具有理想的电压陡降特性，自动识别伪打火现象，

充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。

D 主要参数可大范围调节

E 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。

采用先进的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，

体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。

该系列产品采用先进的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性，

并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，

具有的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度；

主要参数均可大范围连续调节；

方便维护，可靠性高；

PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。

MSB系列双极脉冲磁控溅射电源（中频电源）

主要用途：

双极脉冲磁控溅射电源用于中频孪生靶磁控溅金属或非金属材料，特别适合于反应磁控溅射。能增加离

化率，减少电荷积累引起的异常放电，预防靶表面中毒现象。